OPTIONS DISPONIBLES

CHOISISSEZ vos options = PERSONNALISEZ votre équipement !

LES OPTIONS AU CHOIX

Elles vous permettent de personnaliser votre équipement selon vos applications.

SPINDLES / BRAS / AUTRES OPTIONS : Aspiration, Rinçage, Séchage, Ré-ionisation / CABINETS / CANISTERS

1. CHUCKS :

Développé pour adapter notre système aux substrats de nos clients.

Horizontal SFC300XH

Tous types de plateaux pour plaquettes (de 2″ à 12″ en standard)
Masques (jusqu’à 9″ en standard), cadres et substrats
Plateaux de plateau supportant plusieurs substrats en parallèle
Conception sur mesure selon les spécifications du client
Dimensions jusqu’à 350 mm

Vertical DFC450XV

Idem ci-dessus
Dimensions jusqu’à 450mm

2. BRAS :

Mouvements motorisés entièrement programmables (position, vitesse)

Mouvement vertical et horizontal avec le même mécanisme pour tous les bras

Mouvement vertical de haute précision

Jusqu’à 4 doses de produit chimique par bras (sauf haute pression)

Les tuyaux de distribution sont intégrés au bras (donc invisibles)

Distribution cyclique possible (x sec ON – y sec OFF)

Megasonic

Horizontal SFC300XH

Adapté aux solutions Prosys MegPie™ jusqu’à 300 mm (particulièrement utile pour une efficacité chimique accrue)
Puissance Megasonic programmable dans les étapes de la recette
Puissance et températures de retour surveillées et affichées sur l’écran opérateur
Position de stationnement MegPie™ maintenant la surface constamment humide

Brosse

Horizontal SFC300XH

La rotation de la brosse agite le produit chimique (nettoyage en douceur).
La rotation de la brosse au contact du support (nettoyage mécanique).
Le moteur de la brosse est directement intégré au bras (mécanisme simple).

Vertical DFC450XV

Idem ci-dessus +
2 brosses activées par 2 moteurs distincts
Réglage motorisé, de l’écartement des brosses

High Pressure

Horizontal SFC300XH

Différents types de buses possibles
Pompe haute pression adaptée à la plage de pression (5, 10, 50 jusqu’à 200 bars)
Pression programmable dans les étapes de la recette
Mouvement motorisé vertical (en option)

+ Vertical DFC450XV

Idem ci-dessus

Diffuseur

Horizontal SFC300XH

Différents types de buses possibles
Dosage volumétrique (en option)

3. AUTRES OPTIONS :

Aspiration, rinçage, séchage, ré-ionisation…

Aspiration

Horizontal SFC300XH

Y compris les vannes nécessaires, le piège à eau et l’impulsion d’azote pour la décompression.

Rinçage

Horizontal SFC300XH

Rinçage de la chambre
Rinçage de la face avant (peut être effectué avec n’importe quel bras)
Rinçage de la face arrière

Vertical DFC450XV

Rinçage de la chambre
Rinçage des faces avant et arrière (peut être effectué avec n’importe quel bras)

Séchage

Horizontal SFC300XH

Le séchage frontal N₂peut être effectué avec n’importe quel bras
Séchage arrière N₂
Séchage frontal infrarouge avec lampes intégrées au couvercle (couvercle entièrement en acier inoxydable uniquement).

Vertical DFC450XV

Le séchage N₂avant et arrière peut être effectué avec n’importe quel bras

Re-ionisation

Horizontal SFC300XH

Eau déminéralisée ré-ionisée par injection de CO₂ pour éviter les décharges électrostatiques dues à la haute pression
Ioniseur d’air dans la chambre

Vertical DFC450XV

Idem ci-dessus

4. CABINETS (chauffage et/ou mélange chimique) :

Compatible avec les salles blanches ; utilisable en zones grises.

Système autonome pour l’alimentation en produits chimiques chauffés et mélangés de nos 2 équipements OU de tout équipement de nettoyage du marché.

Recirculation possible pour les produits chimiques chauffés.

L’équipement de nettoyage B4C pilote les armoires via une communication Ethernet Modbus.

5. CANISTERS :

Réservoir sous pression pour l’alimentation en produits chimiques déjà préparés, pour nos 2 équipements.

Toutes les capacités de réservoirs sont possibles, de 3 à 20 litres.

Les réservoirs seront placés à l’extérieur des équipements de nettoyage B4C ou dans des zones grises.

Si possible, nous pouvons également installer un réservoir d’une capacité maximale de 5 litres dans le châssis.

Les équipements de nettoyage B4C pressuriseront les réservoirs au début du cycle de nettoyage, et les dépressuriseront à la fin.